中科儀干式真空泵已實現集成電路產業核心部件國產化多項零的突破。

在半導體制造這個“納米級微觀手術”中，干式真空泵扮演著至關重要的角色。干式真空泵能快速、干凈地把芯片加工腔室里的空氣和各種氣體“抽走”，為芯片制造提供工藝所必需的潔凈真空環境，完成薄膜沉積、刻蝕、離子注入、光刻等超微加工。

在新三板掛牌的中科儀，依托高真空、超高真空和超潔凈真空技術優勢，攻克了一系列產業共性、關鍵技術難題，致力于研制開發先進的干式真空泵、真空儀器設備，產品均達到國際同類產品先進水平，填補了國內同類產品空白。

據了解，中科儀創建于1958年，其前身是中國科學院直屬事業單位，是中國領先的半導體制造設備核心部件提供商及真空科學儀器設備供應商，主營業務為干式真空泵和真空科學儀器設備的研發、生產、銷售及相關技術服務。中科儀作為我國真空技術領域的領軍企業，組建了國家真空儀器裝置工程技術研究中心、真空技術裝備國家工程實驗室及國家企業技術中心，是國家級高新技術企業。

目前，中科儀干式真空泵已在國內多家知名集成電路和光伏巨頭企業通過工藝驗證并批量使用，打破了歐美及日韓企業對同類產品的長期壟斷地位，實現集成電路產業核心部件國產化多項零的突破。

校對：冉燕青